目的：K-alpha X 射线光电子能谱仪可对表面进行元素分析。结合能的移动取决于周围环境，因此可以研究元素的化学状态。可进行深度扫描（离子枪蚀刻）、线扫描和平面扫描，并绘制选定元素的分布图。使用倾斜模块可以对几纳米厚的薄膜和涂层进行无损检测。

应用:

• 研究半导体、接触、半导体光学、多层超导体
• 催化、聚合物、腐蚀、附着力
• 涂层：光学涂层、硬涂层、防摩擦涂层、防水涂层、不粘涂层、阻燃涂层等
• 生物植入物、防污和抗菌涂层、药物及其输送方式
• 法医、艺术专业知识